Wafer 표면 검사기
OVERVIEW
본 설비는 Wafer의 표면를 다양하게 검사 할 수 있도록 구성되어 있으며 불량 별로 카세트 분류를 할 수 있는 설비 입니다.
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GENERAL SPECIFICATION
- Size : 1,500(W) X 1,300(D) X 1,700(H)
- Utility : 220 V, 50-60 Hz, 1-Phase
- Weight : 500 kg
- Tact Time : 65 sec / 1 Wafer
- Wafer 불량 별 카세트 분류
- AI Vision Program
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INSPECTION ITEM
- Chip 검사, 스크래치 및 외관 검사, 두께 검사